采用IGBT及Super Junction等結構制造的功率器件,具有高速、低損耗的特點,在風電、光伏、智能電網、有軌交通、汽車電子等新興產業上得到廣泛應用。 在功率半導體領域,北方華創自主研發的刻蝕機、物理氣相沉積設備、立式爐設備、清洗機、單/ 多片式硅外延設備以及臥式氧化/ 擴散爐已獲得多家功率器件客戶的認可和批量采購。