INVITATION
尊敬的業界同仁：您好！
全球半導體行業盛事SEMICON China 2024將于3月20日-3月22日在上海新國際博覽中心開幕。此外，中國國際半導體技術大會(CSTIC) 2024也將于3月17日-3月18日在上海國際會議中心舉辦。屆時，囊括半導體全產業鏈的全球主要供應及服務商將聯袂參展，與您共話行業前沿技術與解決方案，探索產業革新路徑、挖掘潛在機會與前瞻發展趨勢。
北方華創將為業界奉上針對集成電路、先進封裝、功率半導體、微機電系統、化合物半導體、半導體照明、平板顯示、新能源光伏等領域設備和工藝解決方案的最新成果與進展。共享行業資源，共謀產業高質量發展，北方華創誠邀您蒞臨展位，共同推動產業進步，創造無限可能！
開幕主題演講
北方華創集團董事長 趙晉榮
演講題目：AI時代集成電路裝備產業的創新之路
New Opportunities in the IC Equipment Industry in the AI Era
演講時間：3月20日 15:05-15:30
演講地點：上海浦東嘉里大酒店, 上海廳 1
SEMI同期論壇——IC制造產業鏈國際論壇
北方華創微電子總裁 董博宇
演講題目：薄膜技術與集成電路裝備：挑戰、機遇與解決方案
Thin film technology and semiconductor equipments: Challenges, Opportunities, and Solutions
演講時間：3月21日9:30-9:55
演講地點：上海浦東嘉里大酒店, 浦東廳 5
SEMI同期論壇——異構集成（先進封裝）國際會議
北方華創微電子副總裁 王娜
演講題目：以裝備創新助推算力時代先進封裝產業騰飛
Innovations in Equipment Drive Rapid Growth of the Advanced Packaging Industry in the Computing Era
演講時間：3月19日15:00-15:20
演講地點：上海浦東嘉里大酒店, 浦東廳 5
SEMI同期論壇——功率及化合物半導體產業國際論壇
北方華創微電子行業總經理 李仕群
演講題目：需求引領，技術創新，構建中國碳化硅產業新生態
Demand Leadership, Technological Innovation, Building a New Ecosystem for China’s Silicon Carbide Industry
演講時間：3月22日 10:45-11:10
演講地點：上海浦東嘉里大酒店，浦東廳 1
Session II: Advanced Patterning
演講人：徐力田 專家
演講題目：Study of tungsten-doped carbon hard mask etch using O2/NF3 based chemistry
演講時間：3月17日15:50-16:05
演講地點：上海國際會議中心，3C+3D
Session III: FEOL/MOL Etching
演講人：王雪華 女士
演講題目：Challenge of boron-doped silicon hardmask etching
演講時間：3月18日8:45-9:00
演講地點：上海國際會議中心，3C+3D
Session III: FEOL/MOL Etching
演講人：田城 先生
演講題目：Precise etching technology of ultra thin Al2O3 film using BCl3 chemistry
演講時間：3月18日9:00-9:15
演講地點：上海國際會議中心，3C+3D
Session III: FEOL/MOL Etching
演講人：蔣中偉 博士
演講題目：New development of ICP etching for advanced patterning
演講時間：3月18日9:30-10:00
演講地點：上海國際會議中心，3C+3D
Session IV: Resists Etch/Wet Etch/Clean/MEMS
演講人：李國榮 博士
演講題目：The challenges and new developments on TSV etch applications
演講時間：3月18日10:45-11:15
演講地點：上海國際會議中心，3C+3D
Session IV: Resists Etch/Wet Etch/Clean/MEMS
演講人：朱夢嬌 女士
演講題目：High aspect ratio carbon hardmask etch process for profile and LCDU control
演講時間：3月18日11:15-11:30
演講地點：上海國際會議中心，3C+3D
Session IV: Resists Etch/Wet Etch/Clean/MEMS
演講人：曾麗 女士
演講題目：Line edge roughness reduction in high aspect ratio carbon hardmask patterning for slit trench
演講時間：3月18日11:30-11:45
演講地點：上海國際會議中心，3C+3D
Session VI: ALE and Patterning
演講人：符雅麗 女士
演講題目：Plasma etching solutions for compound semiconductors
演講時間：3月18日14:45-15:15
演講地點：上海國際會議中心，3C+3D
Session VI: ALE and Patterning
演講人：林源為 博士
演講題目：Perspective on Plasma Etching in Advanced Packaging
演講時間：3月18日15:15-15:30
演講地點：上海國際會議中心，3C+3D
Session III: ALD Process Development – 1
演講人：段文旭 先生
演講題目：Characterizing low-k (SiCON) film with different element composition
演講時間：3月18日9:20-9:40
演講地點：上海國際會議中心，5樓長江廳
Session V: Device Integration - 3
演講人：周翔宇 先生
演講題目：Copper Diffusion Improvement by Optimizing TaN and Integration in Power Device
演講時間：3月18日14:50-15:10
演講地點：上海國際會議中心，5樓長江廳
Session VI: Process Development – 1
演講人：劉正道 先生
演講題目：The Effects of Different Silicon Oxide Substrates on Amorphous Silicon Thin-Film
演講時間：3月18日16:25-16:45
演講地點：上海國際會議中心，5樓長江廳
Session IV: Metrology II
演講人：張學峰 博士
演講題目：Multi-physics Simulation of Electromigration in Cu Interconnect
演講時間：3月18日11:35-11:50
演講地點：上海國際會議中心，3B
